美国MKS真空压力计

关于MKS

我们的愿景：使技术改变我们的世界

在MKS，我们长期以来一直利用我们的集体好奇心来理解和开发许多关键技术创新的核心解决方案。这些创新推动了半导体、工业、生命和健康科学、研究和国防市场的加速路线图。

MKS Instruments 成立于 1961 年，是一家在全球科技与工业领域极具影响力的企业，其致力于提供能够改变世界的先进技术解决方案，在前沿半导体制造、先进电子器件以及特种工业应用等关键领域占据重要地位。

一、核心业务与技术专长

1. 压力与流量测量控制：MKS 在压力测量和控制、流量测量和控制技术方面拥有深厚的核心竞争力。其产品如 Baratron® 电容式压力规，以高精度、高重复性以及对气体成分不敏感著称，结构紧凑且易于集成到大多数工艺设备中。该压力规采用镍基合金制造，具备强耐腐蚀性，全焊接结构并经过严格泄漏检查，保障了使用过程中的安全性与可靠性。

1. 气体与蒸汽输送及成分分析：能够提供精准的气体和蒸汽输送解决方案，同时在气体成分分析上表现卓越。其拥有多种功能强大且经过验证的基于质谱的解决方案，为真空和气体相关应用提供全新的认识和控制水平，助力客户精确把握工艺过程中的气体相关参数。

1. 电子控制与反应气体生成输送：在电子控制技术以及 reactive gas generation and delivery 方面技术领先，为各类复杂工艺提供稳定可靠的控制与气体供应，满足不同行业对于工艺精准度和稳定性的高要求。

二、主要产品系列

1. 半导体制造相关产品：Surround the WaferSM 产品为半导体客户提供从产品、设计开发服务到系统级集成、培训计划、校准、服务及维修的全方位业务。针对半导体工艺中面临的超薄层、新材料和复杂 3D 结构等挑战，帮助客户在维持质量和生产力的同时有效应对。例如，其光纤温度传感器专为在传统电气传感器失效的条件下工作而设计，可在等离子体辅助半导体工艺的宽温度范围内实现高精度和高重复性测量，保障工艺的精准控制。

1. 工业应用产品：提供涵盖多种工业场景的产品，像高度灵活的真空计控制器，支持广泛测量技术，可针对每个单独应用定制系统。该控制器能为多达六个不同的真空计和 / 或质量流量控制器提供电源和同步读数，并具备控制压力、校准和系统诊断等功能选项。还有多种真空接头、法兰和组件，包括弯头、异径管、三通等，满足工业生产中的不同连接需求。

三、服务与支持

1. 应用实验室支持：应用实验室配备专业技术专家团队以及经过 MKS 认证的测试设备，凭借在薄膜沉积和蚀刻、复杂架构图案化、检测和清洁等方面广泛的半导体工艺知识，为客户提供专业技术支持，确保客户在复杂苛刻应用中实现最佳生产工艺，同时也为内部产品开发团队提供重要指导。

1. 技术支持团队服务：技术支持团队专家遍布全球，提供每周 7 天、每天 24 小时的全方位支持，涵盖产品安装、设置、故障排除以及生产咨询等各个环节，为客户的生产运营保驾护航。

1. 定制化服务：与客户紧密合作，根据客户规格要求研发特定产品和解决方案，解决复杂问题。同时提供工程和研发服务，利用广泛的内部产品知识和半导体加工专业知识，为关键子组件提供内部和现场强化培训，并可根据客户需求定制培训内容。此外，在全球各地的服务中心为阀门、压力传感器等多种产品提供校准和维修服务，配备高技能工程师和技术人员，通过全面的维修和服务计划，延长设备使用寿命，提高设备正常运行时间和利用率。

四、品牌优势与行业影响力

MKS Instruments 作为行业内公认的技术领导者，凭借世界级的领先工艺技术和开发能力，能够为客户解决最复杂的问题，提供可靠的解决方案。在先进设备制造面临小型化和复杂性挑战的当下，其解决方案通过提高功率、速度、特征增强以及优化连接，发挥着至关重要的作用；在特种工业应用领域，也能满足日益增长的性能要求。无论是在半导体制造领域助力企业提升芯片制造的精度和效率，还是在工业应用中帮助企业优化生产流程、提高产品质量，MKS Instruments 都以卓越的运营和全面的产品组合，在业务所有方面保持始终如一的高质量执行，在全球市场中树立了良好的品牌形象，成为众多全球领先技术和工业公司信赖的合作伙伴。

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