MKS 622D 10 Torr Baratron 绝对电容压力计，真空接头 1/2 英寸管外径，接线盒连接器，PN 622D11TAE
622D 1-1000 Torr, Unheated Absolute Baratron® Capacitance Manometers
Baratron®622D非加热绝对电容压力计是MKS最新的模拟、基于电容的高性能真空和压力传感器。它需要±15VDC输入电压，并提供与压力线性的高电平0-10 VDC模拟输出信号。
- 0至10 VDC比例模拟输出，带接线端子
- 直接测量腔室总压，与气体类型无关
- 长期输出稳定性，实现最先进的工艺可重复性
- Inconel®和Incoloy®镍合金基本传感器结构
- 高超压极限确保系统故障期间的可靠性
- 以读数百分比指定，以获得最佳精度和提高工艺产量
规格
- 类型 真空/压力传感器
- 测量类型 绝对
- 全量程压力范围 1、2、10、20、100、500或1000 Torr和公制等效物
- 传感器温度 环境
- 模拟输出 0-10 VDC进入>10 kΩ负载
- 精度 1-1000 Torr的0.25%读数
- 电气连接器 5针接线端子
- 零温度系数
0.005%FS/°C用于10-1000 Torr范围
0.010%FS/°C用于2 Torr范围
0.015%FS/°C用于1 Torr范围
- 跨度温度系数 0.04%的读数/°C
- 工作温度范围 0-50°C
- 分辨率 满量程的0.001%
- 卷 6.3 cc
- 超压极限 45磅（310千帕）
- 暴露材料 Inconel®和Incoloy®镍合金
- 功率要求 ±15VDC（±5%）@35 mA
- 合规 CE
特点
Baratron®电容压力计技术
使用Baratron®电容压力计进行气体独立压力测量。示意图显示了内部组件和功能区。
阅读准确率百分比
精度指定为读数的百分比，而不是一些性能较低的器件中所示的满量程。读数精度百分比在最需要的压力范围的较低量程中为您提供更准确的输出信号。
绝对压力测量
这些Baratron®压力传感器参考真空进行绝对压力测量。应用包括：真空炉、水果和蔬菜冷冻干燥、气体激光器、汽车部件测试、瓶子涂层和真空蒸馏。
Inconel®和Incoloy®建设
这些压力传感器采用Inconel®和Incoloy®镍合金结构，使其能够在几乎任何化学环境中运行而不会损坏，包括卤素、去离子水和蒸汽以及臭氧。传感器完全焊接，没有中间钎焊或连接材料。
0至10 VDC比例模拟输出
这些Baratron®电容压力计具有与压力线性的高电平0-10 VDC模拟输出信号，该模拟输出可以与MKS压力控制器、MKS电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接，它们由±15 VDC输入电压供电。
5针接线端子
| 引脚 | 说明 |
|---|---|
| 1 | 电源共用 |
| 2 | 信号共用 |
| 3 | 信号输出 |
| 4 | -15 VDC |
| 5 |
文学资源
622D、626D非加热绝对气压®电容压力计 （2.1 MB， PDF）
美国MKS压力传感器，真空计 薄膜规，供应型号
622B压力传感器，真空计 薄膜规
623A压力传感器，真空计 薄膜规
625D压力传感器，真空计 薄膜规
626B压力传感器，真空计 薄膜规
627D压力传感器，真空计 薄膜规
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628B压力传感器，真空计 薄膜规
628D压力传感器，真空计 薄膜规
E28F压力传感器，真空计 薄膜规
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