基础参数
中文学名
石英舟（同义词：石英玻璃舟）
石英舟（同义词：石英玻璃舟）
英文学名
Quartz Boat (Synonym: Quartz Glass Boat)
Quartz Boat (Synonym: Quartz Glass Boat)
材质构成
高硼硅玻璃体系（SiO₂≥99.999%）
高硼硅玻璃体系（SiO₂≥99.999%）
物理常数
熔点1730℃ | 莫氏硬度7级
熔点1730℃ | 莫氏硬度7级
性能矩阵
耐温性能
• 长期工作温度：1100℃
• 极限耐受温度：1450℃
• 长期工作温度：1100℃
• 极限耐受温度：1450℃
化学惰性
• 氢氟酸抗蚀等级：IV级
• 热磷酸耐受温度：＜300℃
• 氢氟酸抗蚀等级：IV级
• 热磷酸耐受温度：＜300℃
光学性能
• 可见光透射率：93%+
• 紫外透射率：80%+
• 可见光透射率：93%+
• 紫外透射率：80%+
热稳定性
• 热膨胀系数：5.5×10⁻⁷/℃
• 急冷温差：ΔT≥1000℃
• 热膨胀系数：5.5×10⁻⁷/℃
• 急冷温差：ΔT≥1000℃
重点应用领域
- 半导体制造：晶圆扩散/氧化工艺载体
- 光伏生产：硅片插片操作专用治具
- 化工设备：酸性环境反应容器组件
- 科研仪器：高温光学观测窗口
清洗规范
酸浸处理：10%-25%氢氟酸浸泡40-120分钟
纯水喷淋：DI水循环冲洗20-90分钟
高温钝化：800-900℃三氯氧磷处理（O₂:POCl₃=1:15）
气体冷却：10-30L/min氮气/氧气急冷
安全协议
材料认证
• MSDS认证文件：QG-2025标准
• 纯度证书：SiO₂≥99.9995%
• 放射性检测：符合GB 18871-2002
• 重金属含量：Pb<0.5ppm, As<0.1ppm
• MSDS认证文件：QG-2025标准
• 纯度证书：SiO₂≥99.9995%
• 放射性检测：符合GB 18871-2002
• 重金属含量：Pb<0.5ppm, As<0.1ppm
操作防护
• 氢氟酸防护：特氟龙处理容器
• 高温操作：三层石英纤维手套
• 眼部防护：ANSI Z87.1认证护目镜
• 呼吸防护：N95级防尘口罩
• 氢氟酸防护：特氟龙处理容器
• 高温操作：三层石英纤维手套
• 眼部防护：ANSI Z87.1认证护目镜
• 呼吸防护：N95级防尘口罩
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