基础参数
中文学名 石英舟（同义词：石英玻璃舟）
英文学名 Quartz Boat (Synonym: Quartz Glass Boat)
材质构成 高硼硅玻璃体系（SiO₂≥99.999%）
物理常数 熔点1730℃ | 莫氏硬度7级
性能矩阵
耐温性能 • 长期工作温度：1100℃ • 极限耐受温度：1450℃
化学惰性 • 氢氟酸抗蚀等级：IV级 • 热磷酸耐受温度：＜300℃
光学性能 • 可见光透射率：93%+ • 紫外透射率：80%+
热稳定性 • 热膨胀系数：5.5×10⁻⁷/℃ • 急冷温差：ΔT≥1000℃
重点应用领域
- 半导体制造：晶圆扩散/氧化工艺载体
- 光伏生产：硅片插片操作专用治具
- 化工设备：酸性环境反应容器组件
- 科研仪器：高温光学观测窗口
清洗规范 酸浸处理：10%-25%氢氟酸浸泡40-120分钟 纯水喷淋：DI水循环冲洗20-90分钟 高温钝化：800-900℃三氯氧磷处理（O₂:POCl₃=1:15） 气体冷却：10-30L/min氮气/氧气急冷
安全协议 材料认证 • MSDS认证文件：QG-2025标准 • 纯度证书：SiO₂≥99.9995% • 放射性检测：符合GB 18871-2002 • 重金属含量：Pb<0.5ppm, As<0.1ppm
操作防护 • 氢氟酸防护：特氟龙处理容器 • 高温操作：三层石英纤维手套 • 眼部防护：ANSI Z87.1认证护目镜 • 呼吸防护：N95级防尘口罩
更多仪器通用耗材信息请详询+86 139 6977 9992与PRONOVATION技术支持团队联系以获得帮助。
