石英舟技术规格书
| 基础参数 | |||
| 中文名称 | 石英舟 | 英文名称 | Quartz Boat |
| 中文同义词 | 石英玻璃舟 | ||
| 熔点 | 1730℃ | 莫氏硬度 | 7 |
| 材质 | 高硼硅玻璃 | ||
核心特性
- 耐高温：软化点1730℃，长期使用温度1100℃
6 - 耐腐蚀：除氢氟酸外耐受所有强酸腐蚀
6 - 热膨胀系数5.5×10⁻⁷/℃（20-320℃）
- 紫外-红外全光谱透光率＞93%
6
应用场景
主要应用领域
- 半导体芯片扩散/氧化工序承载器具
8 - 光伏电池硅片插片操作（适配自动翻转机构
1 ） - 化工反应器耐酸部件（配套多组连接系统
4 ） - 科研实验室高温反应容器
| 清洗规范 | |
| 酸洗处理 | 10%-25%氢氟酸浸泡40-120min |
| 钝化处理 | 三氯氧磷+氧气（1:15）800-900℃扩散 |
安全规范
- MSDS认证：需提供石英纯度＞99.999%证明文件
- 破碎处理：须用氢氟酸专用容器收集
- 高温操作：佩戴多层石英纤维隔热手套
| 产业链信息 | |
| 上游原料 | 高纯石英砂（SiO₂≥99.995%） |
| 下游应用 | TOPCon电池检测装置 |
| 竞争厂商 | Tosoh Quartz、Ferrotec、凯德石英 |
